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Projektleitung:
Prof. Oliver Rose
Institut:
ITIS 
Projektbezeichnung:
Sputtercluster 2016 
Projektbeschreibung:
Im Rahmen des Projektes werden bestehende Simulationswerkzeuge von der Pilotphase in die breite Anwendung überführt. Die dazu notwendigen Anpassungen zielen besonders auf eine komfortable Nutzung der Werkzeuge für Fachexperten unterschiedlicher Bereiche der Herstellung von Opto-Halbleitern ab. Weiterhin werden Modellanpassungen vorgenommen um auf besondere Gegebenheiten an speziellen Bottleneck Workcentern einzugehen. 
Drittmittelgeber:
Osram GmbH 
Datum Projektbeginn:
01.04.2016 
Datum Projektende:
31.12.2016