Im Rahmen des Projektes werden bestehende und geplante Abfertigungsregeln für eine komplexe Halbleiterfertigung untersucht. Ziel ist es, neue Steuerungskonzepte vor dem praktischen Einsatz in der Fertigung anhand von Simulationsmodellen zu analysieren und bewerten. Insbesondere sollen neue Konzepte auf unerwartete Nebeneffekte hin untersucht werden, um Risiken bei der Einführung zu minimieren.