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Projektleitung:
Prof. Markus Klein
Institut:
LRT 1 - Institut für Mathematik und Rechneranwendung 
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik 
Projektbezeichnung:
Simulation der Strömungsverhältnisse in EUV-Optiken von Zeiss mittels Computational Fluid Dynamics - Arbeitspaket 2 
Projektbeschreibung:
Zur Untersuchung der Partikelkontamination in einer Optik sollen Strömungen in verdünnten Gasen modelliert werden. In einem ersten Arbeitspaket wurden Simulationen durchgeführt und mit Messungen eines skalierten Modells verglichen. Dabei hat sich eine sehr gute Übereinstimmung. Ein Vergleich mit Simulationsergebnissen an der Original-Optik zeigt allerdings einen mehr oder weniger gleichförmigen Offset in der Druckverteilung. Ziel des zweiten Arbeitspaketes ist eine geeignete Anpassung der Geomet...    »
 
Drittmittelgeber:
Carl Zeiss SMT GmbH 
Datum Projektbeginn:
12.08.2016 
Datum Projektende:
09.12.2016