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Autoren:
Lukas, Sebastian; Jangra, Vikas; Rademacher, Nico; Gross, Michael; Desgué, Eva; Prechtl, Maximilian; Hartwig, Oliver; Ó Coileáin, Cormac; Stimpel-Lindner, Tanja; Kataria, Satender; Legagneux, Pierre; Düsberg, Georg; Lemme, Max C. 
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper 
Titel:
Freely Suspended Platinum Diselenide Membranes without Polymer Support for Piezoresistive Pressure Sensing 
Titel Konferenzpublikation:
2023 Device Research Conference (DRC) 
Veranstalter (Körperschaft):
University of California 
Konferenztitel:
Device Research Conference (2023, Santa Barbara, Calif.) 
Tagungsort:
Santa Barbara, Calif., USA 
Jahr der Konferenz:
2023 
Datum Beginn der Konferenz:
25.06.2023 
Datum Ende der Konferenz:
28.06.2023 
Verlagsort:
Piscataway, NJ 
Verlag:
IEEE 
Jahr:
2023 
Seiten von - bis:
1-2 
Sprache:
Englisch 
Abstract:
Platinum diselenide (PtSe2) is a layered two-dimensional (2D) material with outstanding electronic and piezoresistive properties [1–3]. It has demonstrated its potential for membrane-based pressure sensor devices, where poly(methyl methacrylate) (PMMA) supported and suspended the PtSe2 membranes [4]. The impact of the polymer support layer on the response of the suspended 2D material is still under investigation [5]. To study the strain and the piezoresistive behavior, we fabricated and analyzed devices based on suspended PtSe2 membranes with and without polymer support. 
ISBN:
979-8-3503-2310-8 ; 979-8-3503-2311-5 
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Institut:
EIT 2 - Institut für Physik 
Professur:
Düsberg, Georg 
Projekt:
ForMikro-NobleNEMS ; Graphene Flagship Core 3 
Open Access ja oder nein?:
Nein / No