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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Error analysis in phase extraction in a 2D holographic imaging of semiconductor devices
Herausgeber Sammlung:
Jeong, Tung H.; Bjelkhagen, Hans I.
Titel Konferenzpublikation:
Practical Holography XVIII
Untertitel Konferenzpublikation:
Materials and Applications
Reihentitel:
Proceedings SPIE
Bandnummer Reihe:
5290
Konferenztitel:
Electronic Imaging (2004, San Jose, CA); IS&T/SPIE Annual Symposium on Electronic Imaging (16., 2004, San Jose, CA)
Tagungsort:
San Jose, CA, USA
Jahr der Konferenz:
2004
Datum Beginn der Konferenz:
18.01.2004
Datum Ende der Konferenz:
22.01.2004
Jahr:
2004
Seiten von - bis:
233-242
Sprache:
Englisch
DOI:
URL zum Inhalt:
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institut:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Professur:
Groos, Gerhard
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
BibTeX