Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Ansprechpartner:
Prof. Dr.-Ing. Jochen Schein
Projektbezeichnung:
Prozessvermessung / Diagnostik bei IOT-spezifischen Plasma-Generatoren
Projektbeschreibung:
Aufnahme, Visualisierung sowie wissenschaftliche Machbarkeitsstudie für die Detektion der Partikel bei unterschiedlichen Plasmaparametern Einsatz etablierter Diagnostik-Tools Aufarbeitung und Beratung der Messergebnisse