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Projektleitung:
Dr.-Ing. Stephan Zimmermann
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik 
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Ansprechpartner:
Prof. Dr.-Ing. Jochen Schein 
Projektbezeichnung:
Prozessvermessung / Diagnostik bei IOT-spezifischen Plasma-Generatoren 
Projektbeschreibung:
Aufnahme, Visualisierung sowie wissenschaftliche Machbarkeitsstudie für die Detektion der Partikel bei unterschiedlichen Plasmaparametern
Einsatz etablierter Diagnostik-Tools
Aufarbeitung und Beratung der Messergebnisse 
Drittmittelgeber:
RWTH Aachen 
Datum Projektbeginn:
03.12.2019 
Datum Projektende:
30.06.2020