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Projektleitung:
Dr.-Ing.
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Ansprechpartner:
Prof. Jochen Schein
Projektbezeichnung:
Prozessvermessung/Diagnostik bei IOT-spezifischen Plasma-Generatoren
Projektbeschreibung:
Aufnahme, Visualisierung sowie wissenschaftliche Machbarkeitsstudie für die Detektion der Partikel bei unterschiedlichen Plasmaparametern, Einsatz etablierter Diagnostik-Tools, Aufarbeitung und Beratung der Messergebnisse
Drittmittelgeber:
RWTH Aachen
Datum Projektbeginn:
06.07.2021
Datum Projektende:
31.12.2021
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