Das Ziel des Forschungsvorhabens besteht in der Erhöhung des Verständnisses über die Zusammenhänge, die das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG beeinflussen, sowie in der Verbesserung der Prozessstabilität und Schichteigenschaften. In Anbetracht der offenen Fragestellungen im Stand der Technik werden im Rahmen dieses Projektes die folgenden Ziele angestrebt: -Erhöhung und Erweiterung des Verständnisses über das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG -Entwicklung von Methoden zur gezielten Manipulation und Beeinflussung des Lichtbogens (elektrisch, magnetisch und strömungsmechanisch) -Weiterentwicklung und Test von Diagnostikmöglichkeiten zur Bestimmung des Plasmaverhaltens in und außerhalb des Generators -Erläuterung der Zusammenhänge zwischen dem Plasmaverhalten mit den Prozess- und Schichteigenschaften durch Validierung mit den entsprechenden Analyse-Methoden Dabei wird am IOT ein numerisches Modell zur Beschreibung des Plasmaverhaltens in einem kaskadierten DC_EKEAPG entwickelt. Basierend auf die in den Vorarbeiten gewonnenen Erfahrungen zu dem Thema magnetohydrodynamische Modellierung des Plasmaverhaltens, werden in diesem Projekt entsprechende numerische Ansätze und Annahmen ausgewählt und in das Modell implementiert. Um die gewonnenen Erkenntnisse aus den numerischen Analysen mit den erzielten Prozess- und Schichteigenschaften vergleichen zu können, wird das Modell am Beispiel von einem am IOT und LPT zur Verfügung stehenden kaskadierten DC_EKEAPG „SinplexPro“ der Fa. Oerlikon Metco aufgebaut und getestet. Geplant sind experimentelle Untersuchungen zur Erfassung des Plasmaverhaltens in dem Generator mit und ohne externe magnetische Felder sowie Untersuchungen der resultierenden Partikel- und Schichteigenschaften. Weiterhin wird die Auswirkung der extern aufgelegten magnetischen Felder auf das Plasmaverhalten und somit auf das Partikelverhalten numerisch untersucht. Hierfür wird das numerische Modell des Generators zur Berücksichtigung der externen magnetischen Felder weiterentwickelt bzw. erweitert. Ein umfangreicher konstruktiver und baulicher Eingriff ist in diesen Plasmagenerator nur eingeschränkt möglich. Daher werden die ersten experimentellen Arbeiten zur Manipulation und Beeinflussung des Plasmaverhaltens vom LPT grundsätzlich auf Basis eines Experimentier-Generators realisiert. Ausgehend auf bisherigen Erkenntnissen und gewonnenen Erfahrungen aus Vorarbeiten soll daher im Zuge dieses Forschungsprojektes ein geeigneter kaskadierter Experimentier-Generator aus einem konventionellen Typ modifiziert und umgebaut werden, so dass sämtliche geplanten strömungsmechanischen, elektrischen und schaltungstechnischen Manipulationsmöglichkeiten als auch die Diagnostikadaptionen realisierbar sind.    «

Das Ziel des Forschungsvorhabens besteht in der Erhöhung des Verständnisses über die Zusammenhänge, die das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG beeinflussen, sowie in der Verbesserung der Prozessstabilität und Schichteigenschaften. In Anbetracht der offenen Fragestellungen im Stand der Technik werden im Rahmen dieses Projektes die folgenden Ziele angestrebt: -Erhöhung und Erweiterung des Verständnisses über das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG -Entwicklung von Methoden zur gezielt...    »