Zur Untersuchung der Partikelkontamination in einer Optik wurden Vergleichsrechnungen an der 1:5 skalierten 3300 Optik sowie an einem Vollmodell durchgeführt. Dabei wurden nennenswerte Unterschiede im Druckniveau auf dem Strömungsverlauf unter der Maske festgestellt. Ein vorläufiger Vergleich hat bislang 3 mögliche Ursachen offenbart. Deren möglicher Einfluss soll in 3 Arbeitspaketen untersucht werden.