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Projektleitung:
Prof. Markus Klein
Institut:
LRT 1 - Institut für Mathematik und Rechneranwendung 
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik 
Projektbezeichnung:
Simulation der Strömungsverhältnisse in EUV-Optiken 
Projektbeschreibung:
Durch die stetige Miniaturisierung von Schaltstrukturen für die moderne Unterhaltungselektronik gewinnt die Vermeidung von Partikelkontamination in der Halbleiterindustrie zunehmend an Bedeutung: jedes Partikel von der Größe der Maskenstruktur kann potentiell "printen" und somit viele Wafer schädigen. Zur Vorhersage der Kontaminationsunterdrückung sollen CFD Berechnungen durchgeführt werden. Die Ergebnisse sollen unserem Partner Carl Zeiss SMT ein besseres Verständnis der Strömungen in Litho- gr...    »
 
Drittmittelgeber:
Carl Zeiss SMT GmbH 
Datum Projektbeginn:
21.01.2016 
Datum Projektende:
21.07.2016