@phdthesis {
	author = "Ludsteck, Alexandra",
	title = "Optimierung von Gate-Dielektrika für die MOS-Technologie",
	school = "Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik",
	year = 2005,
	address = "Neubiberg",
	identifier = "urn:nbn:de:bvb:706-1095",
	type = "Dissertation",
	keywords = "MOS-Schaltung ;  Gate <Elektronik> ;  Dielektrikum ;  Siliciumdioxid ;  Siliciumoxinitride",
	abstract = "Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Oxynitrid, Gate-Dielektrika, high-k Dielektrika"
}