@phdthesis {
	author = "Biba, Josef",
	title = "Herstellung und Charakterisierung von high-k Metal-Gate CMOS Transistoren",
	school = "Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik",
	year = 2012,
	address = "Neubiberg",
	identifier = "urn:nbn:de:bvb:706-3034",
	type = "Dissertation",
	keywords = "CMOS ;  High-k-Dielektrikum ;  Metall ;  Gate ‹Elektronik›",
	abstract = "Halbleitertechnologie, Mikroelektronik, CMOS, High-k Metal-Gate"
}