@manual{ titlea = "Prof.", vornamea = "Jochen", namea = "Schein", departmenta = "Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik", institutea = "EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik", titleb = "", vornameb = "", nameb = "", departmentb = "", instituteb = "", titlec = "", vornamec = "", namec = "", departmentc = "", institutec = "", external-funds = "DFG", company = "", project-title = "Simulationsvalidierung und Messdatenbereitstellung", project-abstract = "Im Rahmen dieses Paketantrags soll ein vertieftes Prozessverständnis für die Drei-Kathoden-Technik auf Basis eines gezielten Zusammenspiels von numerischer Simulation und Prozessdiagnostik erreicht werden. Ziel ist eine komplette Beschreibung des Prozesses vom Brenner bis zur Schicht. Innerhalb dieses Projektverbunds hat das LPT die Aufgabe, durch neuartige und etablierte Prozessdiagnostiken Eingangsgrößen für die Simulation bereitzustellen bzw. Simulationsresultate zu verifizieren. Dies geschieht mittels der bereits aufgebauten, aber zu erweiternden Computertomographie zur Analyse des Plasmafreistrahls, sowie der neu zu entwickelnden Hallsonden-Tomographie, die eine Untersuchung des Plasmas innerhalb des Brenners ermöglicht. Weiterhin werden Spritzpartikeldaten für die Simulation der Schichtbildung, dieses Mal auch im Falle des Suspensionsplasmaspritzens, bereitgestellt.", proj-beginn = "01.10.2011", proj-end = "30.09.2015", forschungszentrum = "" }