@manual{
	titlea = "Dr.-Ing.",
	vornamea = "Stephan",
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	departmenta = "Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik",
	institutea = "EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik",
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	external-funds = "ALD Vacuum Technologies GmbH",
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	project-title = "ALD Vacuum Technologies GmbH – Diagnostik – Partikel ",
	project-abstract = "Validierungsuntersuchungen verschiedener Partikel-Diagnostiken mit ersten Parameterstudien bei ALD Vacuum Technologies GmbH-Anlagen (EIGA) (erst einmal Partikel Diagnostik)",
	proj-beginn = "01.01.2014",
	proj-end = "31.12.2014",
	forschungszentrum = ""
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