Universität der Bundeswehr München: AtheneForschung
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Authors:
Uedono, Akira; Shojiki, Kanako; Uesugi, Kenjiro; Chichibu, Shigefusa F.; Ishibashi, Shoji; Dickmann, Marcel; Egger, Werner; Hugenschmidt, Christoph; Miyake, Hideto 
Document type:
Zeitschriftenartikel / Journal Article 
Title:
Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams 
Journal:
Journal of Applied Physics 
Volume:
128 
Issue:
8 
Year:
2020 
Pages from - to:
085704 
Language:
Englisch 
Article ID:
085704 
Department:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik 
Institute:
LRT 2 - Institut für Angewandte Physik und Messtechnik 
Chair:
Dollinger, Günther 
Open Access yes or no?:
Nein / No 
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