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Projektleitung:
Dr.-Ing.
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Projektbezeichnung:
ALD Vacuum Technologies GmbH - Diagnostik
Projektbeschreibung:
Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der Diagnostik bei ALD Vacuum Technologies GmbH – Anlagen
Drittmittelgeber:
ALD Vacuum Technologies GmbH
Datum Projektbeginn:
28.10.2013
Datum Projektende:
27.10.2014
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