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Projektleitung:
Dr.-Ing.
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Projektbezeichnung:
ALD Vacuum Technologies GmbH – Diagnostik – Partikel
Projektbeschreibung:
Validierungsuntersuchungen verschiedener Partikel-Diagnostiken mit ersten Parameterstudien bei ALD Vacuum Technologies GmbH-Anlagen (EIGA) (erst einmal Partikel Diagnostik)
Drittmittelgeber:
ALD Vacuum Technologies GmbH
Datum Projektbeginn:
01.01.2014
Datum Projektende:
31.12.2014
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