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Projektleitung:
Dr.-Ing.
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Projektbezeichnung:
ALD Vacuum Technologies GmbH_Diagnostik
Projektbeschreibung:
Plasmadiagnostik-Plasma-Generatoren-Verhalten an ALD Vacuum Technologies GmbH -Spezifischen Anlage
Drittmittelgeber:
ALD Vacuum Technologies GmbH
Datum Projektbeginn:
01.04.2015
Datum Projektende:
31.12.2015
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