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Projektleitung:
Prof. Jochen Schein
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik 
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Projektbezeichnung:
Simulationsvalidierung und Messdatenbereitstellung 
Projektbeschreibung:
Im Rahmen dieses Paketantrags soll ein vertieftes Prozessverständnis für die Drei-Kathoden-Technik auf Basis eines gezielten Zusammenspiels von numerischer Simulation und Prozessdiagnostik erreicht werden. Ziel ist eine komplette Beschreibung des Prozesses vom Brenner bis zur Schicht. Innerhalb dieses Projektverbunds hat das LPT die Aufgabe, durch neuartige und etablierte Prozessdiagnostiken Eingangsgrößen für die Simulation bereitzustellen bzw. Simulationsresultate zu verifizieren. Dies geschie...    »
 
Drittmittelgeber:
DFG 
Datum Projektbeginn:
01.10.2011 
Datum Projektende:
30.09.2015